无油螺杆真空泵-变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种：

⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵（隔膜式真空泵也是一种往复式真空泵）。

⑵旋转真空泵：是利用泵腔内转子做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种型式：

①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故部分又称气镇式真空泵。

②液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体(通常为水或油)抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，介质为水时也叫水环真空泵。

无油螺杆真空泵-③罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种型式的真空泵。

④螺杆真空泵：利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内各大制药和化工企业得到广泛应用。

⑤爪式真空泵：爪式真空泵原理类似与罗茨，利用两个爪型转子与泵腔形成抽气容积，旋转过程中转子可自动开闭。

⑥涡旋真空泵：涡旋真空泵是由涡旋压缩机演化而来的一种无油真空泵。

其中螺杆真空泵、爪式真空泵以及涡旋真空泵等又可以称为干式真空泵，可以实现不用油类密封。

无油螺杆真空泵-珂勒曦螺杆真空泵，单极突破0.1pa极限真空，可长时间运行，并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化，更适应国内的各类工况环境，实际应用实现更低故障率，更低能耗，更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。