无油真空泵-干式真空泵因其对特点的使用及其在各个方面的表现而备受关注。但在手动干油泵，长期使用后容易形成规模，导致设备效率下降。因此，为了有效地解决这个问题，我们需要了解一下干式真空泵水垢形成的原因。

1、干式真空泵的工作介质主要是自来水，其中含有镁和钙的碳酸盐和碳酸氢盐。

2、正常情况下，这种晶体可以存在于水中。当水被用作干式真空泵的工作介质时，由于温度或气压的变化，水变得过饱和。同时，一些碳酸盐和碳酸氢盐分解成不溶于水的碱性碳酸盐，形成沉积物。

3、这些沉淀物附着在热表面或粗糙表面上，如叶轮、管道和冷凝器，形成硬垢。

4、水垢容易堵塞气孔和缝隙，使零件结合面粘牢。缩放后，干式真空泵不仅会降低泵送速率，还会导致功耗增加。当叶片之间的空间几乎充满水垢或进排气窗几乎被水垢堵塞时，进排风量几乎为零，手动干油泵失去了抽真空的作用。

干式真空泵的应用广泛，主要在低压化学气相沉积多晶硅的制备过程中。半导体蚀刻工艺。这些生产过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒。除了半导体技术，一些产生颗粒的工艺不希望颗粒混入泵油中，而是希望颗粒从泵中排出，所以某种类型的干式机械手动干油泵可以满足要求。

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