真空滤油机可率地去除液压油、润滑油、汽轮机油等石油基油品中的游离水和固体污染物，也可根据需要单独对油液进行旁路或在线净化处理。
滤油机可以通过破乳、聚结、分离过程，去除介质中的游离水。处理后介质的游离水含量低于200PPM，极限时可低于100PPM。还可以滤除介质中的固体颗粒。
控制油液清洁度，可以达到滤除介质中的固体颗粒。控制油液清洁度，可以达到NAS4极或更高。（注：设备不适用于水含量要求很低的场合，譬如要求去除容解水。此时的一个解决方案是使用生产的聚结负压滤油机系列，这样可以快速地将油中大量的水分脱去，并终将水含量降至100PPM，极限时可低于5PPM。）
油泵种类的确定：常用的油泵按结构可分为齿轮泵、叶片泵、柱塞泵三种。齿轮泵用于低压系统， 对油液污染不敏感；叶片泵输出流量均匀、脉动小、噪声小，但吸油特性不太好、对油液污染敏感；柱塞泵容易得到高精度的配合、泄漏小、容积效率高，和叶片泵 一起常用于高压系统中，对油液污染也敏感。因此真空净油机选用齿轮泵作为进、排油泵。
油泵工作压力的确定：为提高系统的可靠性，延长泵使用寿命，一般真空净油机中油泵的正常工作压力为泵额定压力的70~80%。由于系统在负压条件下运行工作且没有液压缸及液压马达等执行元件，因此油泵的工作压力应不高于0.5MPa。