微电容申通道叉指电低温探针台：一体式不锈钢腔体，手动调节探针，正面留有观察窗，反面留有透光孔。高低温配置

KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台，结构小巧，功能使用，成本较低，可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构，使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来，可以应用于辐照实验中，该探针台也可放置高低温箱中，用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒，增加了抗干,扰,能力，其测试数据更加准确。

微电容申通道叉指电低温探针台技术参数：

真空腔体

类型

高温型室温到350℃

高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃

腔体材质

304不锈钢 6061铝合金 可选

腔体内尺寸

127mmX57mmX20mm

腔体外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔体重量

不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体真空测量口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台

样品台材质

不锈钢 银铜合金 纯银块

银铜合金 纯银块

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

电阻加热 液氮制冷

样品台-视窗 距离

11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400℃

室温到400℃ 室温到-196℃

样品台测温误差

±0.5℃

样品台升温速率

高温100℃/min 低温7℃/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1℃

温控精度

±0.5℃

温度信号输入类型

PT100 （可选K S B型热电偶）

温控输出

直流线性电源加热

直流线性电源加热+液氮流速控制器

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

温控器尺寸

32cmX170cmX380cm

温控器重量

约5.6KG

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA

探针数量

4探针（可扩展5探针）

探针材质

镀金钨针 （其他材质可选）

探针尖

10μm

手动探针移动平台

X轴移动行程

20mm ±10mm（需手动推动滑台）

X轴控制精度

≥500μm

R轴移动行程

120° ±60°（需手动旋转探针杆）

R轴控制精度

≥500μm

Z轴移动行程

2mm ±1mm

Z轴控制精度

≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）